电感耦合等离子体质谱（Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry, ICP-MS）是将样品在高温等离子体中生成的单原子离子通入质谱（一般为四级杆）中进行分析。相比ICP-OES，ICP-MS有着更低的检测限（ppt级）和前者不具备的同位素测定能力。ICP-MS与高效液相色谱（HPLC）联用后可用于重金属形态分析、蛋白质定量检测等领域。